精密刮削非球面微透鏡陣列製程技術

Precision Shaper of Aspherical Micro Lens Array Fabrication Technology

劉世璋(Shih-Chang Liu) ； 陳炤彰(Chao-Chang Arthur Chen) ； 鄭文泓(Wen-Hung Cheng) ； 陳建銘(Chien-Ming Chen) ； 倪維鑫(Wei-Shin Ni)

《光學工程》 82期 (2003/06) Pp. 102-113

https://doi.org/10.30011/OE.200306.0009

摘要

本文主要是開發非球面微透鏡陣列刀具路徑產生軟體，和使用超精密自由曲面加工機配合單結晶鑽石刀具，以機械加工方式製作非球面微透鏡陣列。利用此加工方式將可得到各透鏡曲面高精度的幾何位置和良好的表面形狀精度及粗糙度。

關鍵字

精密刮削 ； 非球面微透鏡陣列 ； 切削深度 ； Y軸移動量 ； 單結晶鑽石刀具

並列摘要

It this work we develop softwares for producing aspherical micro lens array toolpath and use an ultra-precision free-form machine with single-crystal diamond tools to fabricate aspherical micro lens array. By using the method we are able to fabricate lens with high-precision geometry as well as excellent surface accuracy and roughness.

並列關鍵字

Precision shaper ； Aspherical micro lens array ； Depth of cut ； Y axis pickfeed ； Single crystal diamond tool