以Heme分子-金奈米顆粒薄膜用於真空腔之水氣感測

Water Vapor Pressure Gauge Based on Heme-Gold Nanoparticle Film

倪懿池(I-Chih Ni) ； 曾賢德(Shien-Der Tzeng)

《真空科技》 29卷2期 (2016/06) Pp. 38-45

摘要

感測真空腔體中的水氣壓力，對於監控高真空系統的運作情況非常有幫助。本文我們將介紹－水氣感測器，簡單利用金奈米粒子薄膜的電阻變化即可偵測小至10^(-4) Torr的水氣壓力，並且反應非常快速(＜0.5秒)。我們發現，以Heme分子修飾表面的金奈米粒子薄膜，其反應量與水氣壓力符合－冪次關係(γ≈ 0.59)，推算出之特徵吸附能約為22 meV。

關鍵字

水氣 ； 壓力計 ； 奈米粒子

並列摘要

Observation of water vapor pressure is very helpful for understanding the operation condition of a high vacuum system. In this work, we demonstrate a water vapor gauge based on the resistance change of gold nanoparticle film. The gauge has low detection limit (~10^(-4) Torr) and fast response (response time ＜ 0.5 sec). We found that the response of heme molecule modified gold nanoparticle film and the water vapor pressure follow a power-law relation (γ ≈ 0.59). The calculated characteristic adsorption energy is about 22 meV.

並列關鍵字

Water Vapor ； Pressure Gauge ； Nanoparticle