本研究利用射頻磁控濺鍍法沉積鋰離子二次電池之LiMn2O4正極薄膜材料,藉由不同大氣退火及表面離子轟擊處理,以獲致LiMn2O4材料最佳性質的製程與方法。實驗結果顯示,大氣退火熱處理可使沉積LiMn2O4薄膜具有較佳結晶性,若將試片置於壓力於1×10^(-2)Torr以上之純氧氣氛環境中,並於其表面施以電漿離子轟擊,可使薄膜電阻率下降,且將射頻電源功率控制於30W時有最佳電化學性質,其電容量約可達104mAh/g。
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