超精密量測與致動系統

Ultra-High Precision Measurement and Positioning System

胡恩德(En-Te Hwu) ； 鄭仲翔(Chung-Hsiang Cheng) ； 陳敬修(Ching-Hsiu Chen) ； 王偉珉(Wei-Min Wang) ； 陳皇翰(Huang-Hang Chen)

《科儀新知》 203期 (2015/06) Pp. 61-71

摘要

中央研究院物理研究所耕耘掃描探針顯微術已近20年，其間產出高解析、高可靠度與穩定性之超精密奈米量測、致動核心技術。這些技術可針對不同應用，設計各種奈米級解析度之多軸線性、角度、旋轉量測與致動元件，應用於其他精密儀器系統之核心。本文將介紹奈米解析度之雷射干涉儀、皮米解析度之光譜儀與超精密摩擦驅動致動系統。

並列摘要

Institute of Physics, Academia Sinica develops scanning probe microscopy for 2 decades, which generates ultra-high precision measurement and positioning techniques. Those techniques can be custom designed for multi-axes linear, angular, rotational measurement and actuation as a core of precision instruments. In this article, we will introduce spectrometer, laser interferometer, laser auto-collimator systems for precision measurements and nano-scale positioning systems for precision positioning.