本研究主以溶膠-凝膠法(sol-gel),製備鋯鈦酸鉛Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)壓電薄膜,此方法的優點包括:成本低、調整比例精準、易於製作大面積。所得試片以XRD作結晶相分析,利用SEM觀察薄膜表面,同時電滯曲線儀測其壓電性。 研究結果,550~650℃的高溫能獲得鈣鈦礦相結構。基板Pt/Ti/SiO2/Si在550℃、600℃退火,測量其鐵電性質分別可得最佳殘留極化電場Pr=8.124μC/平方公分、Pr=13.348μC/平方公分。
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