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運用失效模式與影響分析評估矽甲烷供應系統之安全性-以TFT-LCD廠為例
王嘉麟
;
金大仁
《工業安全衛生》
211期
(2007/01)
Pp. 46-55
https://doi.org/10.6311/ISHM.200701_(211).0007
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吳建輝(2010)。
應用FMEA於氣化供應系統風險評估之研究-以某半導體廠矽甲烷為例
〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6843/NTHU.2010.00646
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DOI
熊淑珍(2012)。
矽甲烷槽車供應安全評估
〔碩士論文,國立交通大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6842/NCTU.2012.00879
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DOI
徐偉翔(2012)。
加熱用於特殊氣體管路附著去除效應-以某半導體廠為例
〔碩士論文,國立交通大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6842/NCTU.2012.00846
Airiti Library
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DOI
林恩琪(2013)。
運用FMEA與自主檢查規劃於提升設備總和效益之研究
〔碩士論文,國立屏東科技大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6346/NPUST.2013.00263
Airiti Library
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連志晨(2010)。
整合FMEA與ABC成本法於衡量設備生命週期成本之研究-以半導體產業實證分析
〔碩士論文,國立屏東科技大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6346/NPUST.2010.00087
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