- 學位論文
應用FMEA於氣化供應系統風險評估之研究-以某半導體廠矽甲烷為例
The risk assessment research on gas & chemical supply system by FMEA – Example as SiH4 in a semiconductor factory
摘要
本研究以半導體廠為例，特別是以矽甲烷供應系統設計的角度，去建立系統設置時應注意或遵守的設計屬性與規範，並建立矽甲烷供應系統危害分析參考指標，藉此降低矽甲烷洩漏風險的適當控制。利用失誤模式與影響分析(Failure Modes and Effects Analysis，FMEA)來分析問題點，以追蹤因設備故障所導致洩漏的問題點，並增加矽甲烷供應系統的穩定性、提升人員作業的安全性、提高供應氣體的品質、減少意外災害發生機率。經由研究結果顯示，該氣體供應系統在導入FMEA分析方法後，可明顯獲得失效改善之重點，並經由改善措施使得風險優先指數降低。並藉此不斷的改善系統，以提昇系統之可靠度。
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