摘要
彩色濾光片(Color Filter, CF)於製程中大量使用揮發性有機溶劑，在機台運轉過程與預防保養作業(Preventive Maintenance, PM)中，因設備局部排氣系統捕集揮發性有機氣體效率不佳，及PM人員不良工作習慣，均會導致揮發性有機氣體逸散至潔淨室作業場所環境中，造成勞工健康之危害。 本研究主要目的是為了瞭解CF製造廠潔淨室環境空氣中揮發性有機氣體物種及其分佈濃度狀況，透過採樣分析結果比對其是否符合我國勞安法令現行的作業環境容許濃度標準及SEMI S2的建議標準。本研究方法依CF製造廠使用有機溶劑區域規劃出10個「不鏽鋼採樣筒採樣之氣相層析質譜儀分析」，偵測鑑別出揮發性有機氣體物種及濃度。 本研究經GC-MS分析結果發現CF製造廠潔淨室環境空氣中主要揮發性有機氣體物種為環己酮、丙酮、PGMEA、PGME及異丙醇等，而所測得濃度皆小於容許濃度標準。然而環己酮除Phase2-Cr BM(0.14ppm)及PS/OC(0.17ppm)區域符合SEMI S21%職業暴露限值(occupational Exposure Limit, OEL)建議標準外，其餘採樣點均超出建議值。而Phase1-Cr BM及機台下方SUB區域所測得PGMEA分別為1.59ppm與2.23ppm其超出SEMI S2建議的1ppm。至於其他污染物的濃度，都均遠低於SEMIS S2的建議標準。
被引用紀錄
洪昌興（2015）。光電業無塵室空氣污染追蹤調查〔碩士論文，國立屏東科技大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6346/NPUST.2015.00177
李建村（2014）。以生物薄膜反應槽處理光電面板產業廢水之案例探討〔碩士論文，朝陽科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0078-2502201617122826
應志霖（2015）。無塵室揮發性有機氣體異味調查探討 -以某晶圓級封裝廠為例〔碩士論文，國立中央大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0031-0412201512092849
延伸閱讀
- 趙怡璇（2012）。光觸媒鎳金屬濾網對空氣中甲醛及總揮發性有機物之淨化效能評估〔碩士論文，國立臺北科技大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6841/NTUT.2012.00388
- 廖啟發（2010）。氧氣電漿灰化彩色濾光片間隔柱之製程研究與光譜分析〔碩士論文，中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu201000316
- 林成彥（2009）。非單向流型潔淨室之室內懸浮微粒濃度與耗能特性分析〔碩士論文，國立臺北科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0006-3107200917501000
- 應志霖（2015）。無塵室揮發性有機氣體異味調查探討 -以某晶圓級封裝廠為例〔碩士論文，國立中央大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0031-0412201512092849
- 陶惟翰、周淑梅、張志成（1999）。建築物室內建材之揮發性有機物檢測分析研究。華岡工程學報，(13)，113-131。https://doi.org/10.29987/CCUHKJE.199906.0010