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  • 學位論文

利用高功率脈衝磁控濺鍍製備氮氧化鋁薄膜於抗反射鍍膜之應用

Anti-Reflection Coatings made with Aluminum Oxynitride Films by High Power Impulsed Magnetron Sputtering

指導教授 : 唐謙仁
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摘要


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