- 學位論文
真空設備週期性維護保養之研究－以Ｃ公司為例
A study on periodic maintenance of vacuum equipment-a case study of C Company
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摘要
在面板廠中，設備若無法維持正常運作，其生產的產品不是良率低下，就是要直接報廢。所以為了提升設備生產運作時間，並使產品能維持一定品質，因此必須實施設備的定期維修保養工作。 本研究以真空設備中的真空泵浦為例，利用FMEA（失效模式與效應分析）進行真空泵浦零組件的研究及調查。透過真空泵浦零組件的失效模式與效應分析表來討論，並分析真空泵浦零組件的失效模式，以找出潛在的失效模式，及可能產生的後果。藉由FMEA的分析結果讓各工作人員了解當需要改善真空泵浦時，各零組件之特性及改善項目之先後順序。在探討完真空泵浦零組件的失效模式後，另外還使用機率分配方式計算真空泵浦零組件的使用壽命，並訂定維護週期，在維護週期時將真空泵浦下機進行零組件之局部維修。首先使用Minitab軟體針對常態分配、對數常態分配及韋伯分配進行機率分配適合度檢定，分析結果為韋伯分配符合本研究所使用之機率分配。接著使用韋伯分配分析真空泵浦零組件之使用壽命，再依據此分析結果訂定維護週期，並在維護週期時將真空泵浦換下做各零組件之局部維修。經由比較改善前後的結果顯示，訂定真空泵浦的局部維修週期後，能延長真空泵浦的使用時間，並能有效降低維護成本。
並列摘要
In the panel factory, if equipment is unable to maintain normal functions, the product yield is affected and scraps occur. In order to improve equipment uptime and keep up output quality, regular maintenance on equipment is necessary. This research studies periodic maintenance of vacuum equipment. FMEA (Failure Mode and Effects Analysis) is utilized to identify potential failure modes, and the possible consequences. The results of the analysis by FMEA allow staff to understand when improving the vacuum pump, various features of the components and order of improvements. In addition, through fitness test conducted using Minitab software, Weibull distribution is selected to describe service lives of components of a vacuum pump. Proper Weibull distributions are then defined and maintenance cycles and policy are formed based on actual maintenance records. Finally, the conducted performance evaluation shows the proposed periodic maintenance policy is able to prolong useful life of a vacuum pump and effectively reduce maintenance costs.
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