以低壓化學氣相沉積法鍍製之氮化矽薄膜在雷射重力波偵測器反射鏡應用之研究

Study of the material properties of silicon nitride thin films fabricated by low pressure chemical vapor deposition for mirror coatings of the laser interferometer gravitational waves detector

蔡東霖(Dong-Lin. Tsai)

指導教授 ： 趙煦

國立清華大學/電機資訊學院/光電工程研究所/碩士(2021年)

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關鍵字

低壓化學氣相沉積 ； 電漿輔助化學氣相沉積 ； 氮化矽 ； 光學吸收 ； 氮氫鍵結 ； 矽懸鍵 ； 胺 ； 單晶矽懸臂 ； 重力波

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LPCVD ； PECVD ； Silicon nitride ； Optical absorption ； N-H bond ； Silicon dangling bond ； Amine ； Silicon cantilever ； Gravitational waves

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