- 學位論文
降低以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製之氮氧化矽薄膜光學吸收之研究
Study the reduction of optical absorption of the oxynitride thin film fabricated by plasma enhanced chemical vapor deposition
延伸閱讀
- 桂芳成（2021）。利用電漿輔助化學氣相沉積法鍍製氮化矽與氮氧化矽薄膜建構光學吸收經驗公式〔碩士論文，國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-0203202211552808
- Sun, Y. R. (2018). 電漿輔助化學氣相沉積碳氮化矽薄膜之應力與熱膨脹係數研究 [master's thesis, National Chiao Tung University]. Airiti Library. https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0030-0205201911194469
- 陳許峻（2008）。以電漿輔助化學氣相沉積系統製備低溫氮化矽薄膜阻障層在塑膠基材之研究〔碩士論文，中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu200900576
- 陳信傑（2017）。以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製於矽懸臂之氮化矽其熱退火後對於室溫機械損耗之影響〔碩士論文，國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-3004201814415930
- 朱彥和（2011）。Deposition Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Film and p-i-n Solar Cell by Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition〔碩士論文，國立中央大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0031-1903201314423783