- 學位論文
利用電漿輔助化學氣相沉積法鍍製氮化矽與氮氧化矽薄膜建構光學吸收經驗公式
Study of silicon nitride and silicon oxynitride films fabricated by the plasma enhanced chemical vapor deposition method to derive empirical equation of optical absorption
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延伸閱讀
- 吳佳謙（2021）。利用電漿輔助化學氣相沉積法鍍製四分之一光學厚度氮氧化矽與氮化矽堆疊膜應用於雷射干涉重力波偵測器反射鏡之研究〔碩士論文，國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-0203202211552909
- 吳季珍、陳貴賢、林麗瓊（2001）。以電子迴旋共振電漿化學氣相沉積法成長矽碳氮晶體薄膜之研究。化工，48(4)，1-10。https://doi.org/10.29803/CE.200108.0001
- 蔡東霖（2021）。以低壓化學氣相沉積法鍍製之氮化矽薄膜在雷射重力波偵測器反射鏡應用之研究〔碩士論文，國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-0203202211552706
- 陳伯宜、林嘉柏、陳建瑞（2006）。高密度電漿化學氣相沉積法成長含氧氮化矽作為氫離子感應膜之研究。真空科技，19(2)，134-139。https://doi.org/10.29808/JVSROC.200611.0029
- 李柏毅（2021）。Investigating the effect of substrate heating on optical properties of silicon oxynitride films deposited by ion beam sputter〔碩士論文，國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-0203202211553418