CMOS-MEMS 隧導電流掃瞄探針設計與製作

Design and Fabrication of CMOS-MEMS Cantilevers for Scanning Tunneling Microscpoe

許家豪(Chia-Hao Hsu)

指導教授 ： 盧向成

國立清華大學/電機資訊學院/電子工程研究所/碩士(2007年)

摘要

這個研究專題主要在設計並實現一個穿隧電流感測顯微系統，而在這個機電整合系統中主要是以靜電力方式當作回饋機制。這個專題主要由兩個部分所組成；第一部分是用作感測和回饋控制的外接電路，第二部分就是以台積電CMOS 2P4M以及微機電後製程所製作出來的致動器；在系統層面的數學模擬上，以量子物理和平行電容板間靜電力關係建構出所有的數學關係式，再以數學軟體工具MATLAB做出全系統模擬，而在致動器的方面，則是以模擬軟體COVENTOR來完成所有機械特性的模擬。實現與實驗量測上，必須將全系統建構在原子力顯微鏡的平台完成實驗，實驗結果則是以電路的電壓訊號做為判斷，整個專題的主要目的為建立一個穩定的系統，並可操作系統在奈米的尺度。

關鍵字

隧導電流 ； 致動器 ； 微機電

並列摘要

無資料

並列關鍵字

scanning tunneling microscopy ； STM ； CMOS-MENS

參考文獻

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