氧化亞鐵硫桿菌代謝溶液中雷射輔助金屬銅沉積之製程分析

Process Analysis of Laser-Assisted Copper Deposition through Thiobacillus Ferrooxidans Metabolite

張國恩(Kuo-En Chang)

指導教授 ： 賀陳弘

國立清華大學/工學院/動力機械工程學系/碩士(2010年)

摘要

現今微結構製作大多經由光微影技術製造而成，需經由定義光罩、曝光、顯影、蝕刻等步驟。運用自由成型技術將可省下製程時間及定義光罩，例如透過雷射照射在基材表面，由光熱效應觸發聚集的金屬水溶液發生局部金屬還原沉積。在先前的研究中，透過雷射輔助化學液相沉積結合氧化亞鐵硫桿菌代謝溶液做為工作溶液，先經由代謝溶液蝕刻金屬銅，以形成帶有飽和的銅離子水溶液，再藉由100X物鏡將1064 nm波長的釹-釔石榴石雷射光束聚焦於光滑銅試片上，以滑軌平台引導雷射路徑，建構出所欲圖形。此金屬微結構成型技術結合天然蝕刻液及雷射引導沉積兩種特性，並在先前的研究中發現金屬銅沉積〈線寬，厚度〉與雷射功率、掃描速度的倒數及掃描重複次數間存在正相關性。
為了確保本微結構技術能在有效預測下進行製程反應，故藉由現有的實驗之各種參數〈雷射功率、掃描速度〉，採取傅立葉熱傳導公式建立金屬銅表面受到移動點熱源影響的溫度分佈範圍，並以模擬結果找出試片表面殘留溫度趨勢，從雷射焦點通過一條固定的參考線，將所得的溫度-時間歷程圖推知沉積反應能量之需求。實驗結果推算出能觸發蝕刻溶液的銅離子的反應溫度門檻大約為450K，所需的能量為100pJ/μm3。

關鍵字

微結構 ； 金屬沉積 ； 無光罩製程 ； 氧化亞鐵硫桿菌 ； 代謝溶液 ； 點熱源

並列摘要

無資料

並列關鍵字

micro structures ； metal deposition ； maskless fabrication ； T. ferrooxidans ； metabolite ； moving thermal

參考文獻

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