高局域性低損耗混合式表面電漿波導管之設計與分析

Design and Analysis of Low Loss High Confinement Hybrid Surface Plasmon Polariton Waveguides

黃民鈞(Min-Jyun Huang)

指導教授 ： 陳金順

國立清華大學/原子科學院/工程與系統科學系/碩士(2012年)

摘要

本論文使用高頻電磁模擬軟體HFSS來設計和分析表面電漿波導管結構，並透過計算訊號的傳遞距離，模態的局域性等表面電漿模態特性來分析結構的效能表現，同時藉由HFSS分析其電磁場特性來驗證計算的結果。
本論文提出金屬覆蓋頂部混合式表面電漿波導管(metal on top surface plasmon polariton waveguide，MOP SPP WG)的結構改良，改變了金屬層的厚度，使損耗降低進而提升訊號傳遞距離同時在場局域性(意即模態的範圍大小)也有不錯的表現，接著分析在不同的金屬厚度下，調整結構的寬度對於表面電漿模態的影響，找出訊號傳遞距離和模態範圍大小隨結構寬度變化的趨勢。
接著利用在傳統的介電質波導管中場會集中在高折射係數介電質內的原理，改變低折射係數介電質層(RR-P3HT)在水平方向的結構形狀，將RR-P3HT層設計成一T型形狀(T-shape RR-P3HT metal on top surface plasmon polariton waveguide，TSR MOP SPP WG)，使在不同區域等效折射係數不同，模態分布往介電質的方向移動，降低場與金屬的接觸來達到減少損耗的目的。最後設計一延伸並固定高等效折射係數介電質層(Silicon)寬度，縮短金屬/RR-P3HT層寬度的結構(silicon extend metal on top surface plasmon polariton waveguide，SE MOP SPP WG)來達到兩個目的:1.降低場與金屬區域的接觸範圍，使模態的能量損耗降低2.使模態向下移動，遠離金屬區域，並由模擬計算分析對訊號傳遞距離和場的局域性的影響。

關鍵字

表面電漿波導管

參考文獻

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