效能增強混合式表面電漿子波導管之設計與分析

郭建銘(Chien-Ming Kuo)

指導教授 ： 柳克強

國立清華大學/原子科學院/工程與系統科學系/碩士(2013年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2013.00455

摘要

本論文使用COMSOL來設計和分析表面電漿波導管，並藉由計算訊號傳遞距離和模態面積來了解效能表現，再計算功率比例來驗證改良結果。
本論文提出改良的結構，以金屬置頂混合式表面電漿子波導管(metal on top surface plasmon polariton waveguide, MOP SPP WG )為基礎，藉由金屬與低介電係數層的接觸面積縮減來降低能量損耗，以達到提升訊號傳遞距離的目標，並研究其變化趨勢，找出效能最佳化的結構設計。文中主要模擬了三種不同金屬結構的表面電漿子波導管來加以分析，首先是找出主要的金屬損耗區域並加以改良，再來是進一步減少金屬尖端結構的產生，最後是降低金屬與介電質(空氣)的接觸面積。由以上這三種模擬結果可以分析出最佳化的結構設計，
而最佳化的結構設計為減少金屬與低介電係數層的接觸面積和尖端部分，其金屬結構的形狀類似一個倒立三角形，根據模擬結果可以顯示，其傳遞距離可以大幅提升，而模態面積維持不變，因為在金屬中的功率比例下降，使得損耗降低，因此提升了表面電漿子波導管的效能。這樣的結構設計在不增加體積的條件下，提升了訊號傳遞距離，對於未來光積體電路的整合有很大的幫助。

關鍵字

表面電漿 ； 表面電漿子 ； 波導管

並列摘要

無資料

並列關鍵字

plasmonics ； surface plasmon polariton ； waveguides

參考文獻

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