封閉式圓形靜壓平面支承使用定補償 之工作台動態特性

Dynamic Characteristics of Worktable Mounted by Closed-type Hydrostatic Flat Bearing with Constant Compensations

李建霖(Jian-Lin Lee)

指導教授 ： ARRAY(0xc7ce140)

中原大學/工學院/機械工程研究所/碩士(2009年)

https://doi.org/10.6840/CYCU.2009.00850

摘要

本文研究封閉式圓形靜壓平面支承使用兩種節流器之工作台動態特性分析，採用等流量補償及毛細管兩種節流器。目的是為了探討此兩種固定式的節流器，在不同的供油壓力、流量及節流係數等參數，並且於工作台施以步階力、簡諧力之激振力，根據分析結果加以比較各參數的影響以及工作台之反應特性。
　　本文應用雷諾方程式所推導之壓力分佈形式，及假設油膜厚度建立流量方程式，求解流量平衡方程式，將其聯立求解後，得到工作台及節流器的壓力，將求出的壓力無因次化後代入作用力方程式，分別得到工作台之油膜合力，再將其代入工作台之無因次動態方程式，對時間積分求解，得到閉式圓形工作台之動態反應。

關鍵字

封閉式靜壓平支承 ； 動態反應 ； 定量泵 ； 毛細管

並列摘要

This thesis studies the dynamic　characteristics in table mounted on closed-type hydrostatic flat bearing with two restrictors, which are constant-flow pump and capillary restriction. With various supply pressures, various flow rates and restriction parameters, worktable under step force and harmonic force are analyzed.
　　Based on the Reynolds equation, the pressure distribution is formulated for the continuity equations of lubricant flow, solve these couple equations, which are solved for dimensionless recess region pressures on worktable and restrictors. The solutions of these coupled equations provide the static and dynamic amplitudes of worktable.

並列關鍵字

dynamic response ； constant flow pump ； capillary ； closed-type hydrostatic flat bearing

參考文獻

[14]趙家成, “ 開式靜壓滑軌之特性分析與驗證, ” 中原大學機械工程學系碩士論文, 2004.

[15]李棋富, “ 閉式靜壓滑軌之特性分析與最佳化, ” 中原大學機械工程學系碩士論文, 2004.

[17]吳奎漢, “ 閉式靜壓滑軌使用薄膜節流器之動態特性分析, ” 中原大學機械工程學系碩士論文, 2006.

[19]金鼎鈞, “ 封閉式圓形靜壓平面支承使用不同型式節流器之工作台動態特性分析, ” 中原大學機械工程學系碩士論文, 2008.

[1]Malanoski, S. B. and Loeb, A. M., “ The Effect of the Method Compensation on Hydrostatic Bearing Stiffness, ” Transaction of the ASME, Journal of Basic Engineering, Vol. 83, No. 2, pp. 179-187, 1961.