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  • 學位論文

微機電LIGA製程之銅合金電鑄技術開發

Development of electroformed copper alloys for LIGA process application

指導教授 : 楊啟榮 程金保
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銅製程 微機電 LIGA製程 哈爾氏槽

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Copper damascene process MEMS LIGA process Hull cell

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