透過您的圖書館登入
IP:3.135.246.193
登入
登出
透過您的圖書館登入
透過您的圖書館登入
登入
登出
出版品瀏覽
幫助
授權華藝
IP:3.135.246.193
繁體中文
English
简体中文
精確檢索 : 冠狀病毒
模糊檢索 : 冠狀病毒
冠狀病毒感染
冠狀病毒疾病
查詢出版品: 冠狀病毒
進階查詢
查詢歷史
主題瀏覽
【下載完整報告】AI熱潮從學術研究也能看出端倪?哪些議題是2023熱搜議題?
學位論文
微機電LIGA製程之銅合金電鑄技術開發
Development of electroformed copper alloys for LIGA process application
劉榮德
指導教授 :
楊啟榮
;
程金保
國立臺灣師範大學/科技學院/機電科技研究所/碩士(2005年)
若您是本文的作者,可
授權文章
由華藝線上圖書館中協助推廣。
引用
分享
收藏
查找全文
摘要
無資料
關鍵字
銅製程
;
微機電
;
LIGA製程
;
哈爾氏槽
並列摘要
無資料
並列關鍵字
Copper damascene process
;
MEMS
;
LIGA process
;
Hull cell
延伸閱讀
陸木榮、廖金峰、郭有益、林澄輝(1995)。
連鑄部份(半)電鍍銅模研發及應用
。
鑛冶:中國鑛冶工程學會會刊
,
39
(4),32-40。https://doi.org/10.30069/MM.199512_39(4).0003
Huang, Y. P. (2017).
低溫銅接合製程研究及異質整合平台開發
[doctoral dissertation, National Chiao Tung University]. Airiti Library. https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0030-2212201712300476
陳松德、陳錦山(2020)。
自組裝單層技術在先進銅金屬化製程的應用發展
。
真空科技
,
33
(1),40-55。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=1017091x-202003-202004240007-202004240007-40-55
Chang, S. Y., & Lin, S. J. (2006).
Electrochemical Copper Metallization and Interface Adhesion Measurement for ULSI Application
.
界面科學會誌
,
28
(1), 11-19. https://doi.org/10.30020/JCCIS.200603.0001
李明峰(2007)。
Effect of Alloying Elements Addition on the Mechanical and Corrosion Properties of Mg-9Li Alloys
〔碩士論文,大同大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0081-0607200917242157
國際替代計量
微機電LIGA製程之銅合金電鑄技術開發
相關連結
論文館藏
篇名與作者
摘要與關鍵字
並列摘要與關鍵字
延伸閱讀
國際替代計量
相關連結
查找全文
本網站使用Cookies
為了持續優化網站功能與使用者體驗,本網站將Cookies分析技術用於網站營運、分析和個人化服務之目的。
若您繼續瀏覽本網站,即表示您同意本網站使用Cookies。
我知道了
隱私權聲明