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飛秒雷射切割與聚晶鑽石輪刀研削之複合式製程技術應用於碳化矽晶粒分割研究
A hybrid process technology combining femtosecond laser cutting with PCD wheel-tool grinding for the study on die separation of silicon carbide
羅平(Lo Ping)
指導教授 :
陳順同
國立臺灣師範大學/科技與工程學院/機電工程學系/碩士(2022年)
https://doi.org/10.6345/NTNU202201375
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延伸閱讀
黃暐仁(2012)。
大負斜角精微聚晶鑽石球型研削工具開發與微小碳化鎢模仁加工研究
〔碩士論文,國立臺灣師範大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0021-1610201315284878
陳園迪、劉祥益、洪育維、劉祥麟(2022)。
雷射輔助碳化矽晶圓快速拋光技術
。
機械工業雜誌
,
(467),15-21。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=P20171221002-202202-202202110008-202202110008-15-21
林詩傑(2014)。
以模具輔助準分子雷射處理法於矽塊材基板上製作矽核波導結構
〔碩士論文,國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2014.10475
廖國材(2006)。
以新穎之微波電漿束化學氣相沈積法進行奈米碳管及鑽石膜之圖案成長
〔碩士論文,國立臺北科技大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6841/NTUT.2006.00321
詹惠媛(2019)。
Application of Fiber Bragg Grating Sensors for Machine Health Monitoring of Built-in High-speed Spindle and the Measurement of the Machine Tools
〔碩士論文,國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU201901976
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