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  • 學位論文

後退火處理對氧化鋁覆蓋層效應於氧化鉿鋯鐵電記憶體之電性分析與切換特性可靠度探討

Influence of Post-Annealing Treatment on the Electrical Characteristics and Switching Reliability of Hafnium-Zirconium-Oxide Ferroelectric Memory with Aluminum Oxide Capping Layer

指導教授 : 鄭淳護
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