軟性奈米碳管感測器

Electrical Properties analysis of Flexible Sensors

陳韋滔(Wei-Tao Chen)

指導教授 ： 魏拯華

健行科技大學/電資學院/電子工程所/碩士(2010年)

https://doi.org/10.6824/UCH.2010.00018

摘要

本論文是以塑膠基板為基底，製作出可彎曲、低成本的Flexible Sensor。有異於本實驗室之前做過基板為Silicon的Naon Sensor，不過由於元件太小，使用較不易，加上以矽基板為基底，對於材料的成本、製程與方便性都有相當大的限制。所以我們把CNT Sensor做在PET上看是否會有相同的特性。元件製作流程中，我們將奈米碳管浸入在二甲基甲醯胺裡（dimethylformamide, DMF），並且使用超音波振盪器，且旋塗在源極與汲極之間。將兩端通道定義為感測口。在實驗中，檢測溶液去離子水（DI-water）及氯化鈉離子溶液（NaCl）所量測的電流有明顯的不同。利用結果來分析元件源極、汲極的間距對Flexible Sensor的靈敏度是否有所影響。之後再於Flexible Sensor加上背閘極，借以分析閘極對Flexible Sensor在檢測時是否有改善。在徹底的研究這些數據後，我們可以將Sensor製作在塑膠基板上成為高靈敏度離子、化學及生物感測器。

關鍵字

軟性感測器 ； 奈米碳管

並列摘要

In this paper, a water-based, low-cost flexible sensor which uses carbon nanotubes (CNTs) as the channel material is fabricated on the plastic substrate. To verify the sensing properties, we use NaCl ion solution as the testing sample. By using the device the different channel length and sensing region, the simple, low-cost, low-toxic (no organic solvent) sensor show a good sensitivity and we also demonstrate this sensor has a highly reusable.

並列關鍵字

Flexible sensor ； CNT

參考文獻

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