利用LabVIEW與可程式邏輯控制器作真空濺鍍機故障分析

Fault Analysis of the Vacuum Sputtering by Using PLC and LabVIEW

陳旭宏(Hsu- Hung Chen)

指導教授 ： 葉進純

國立虎尾科技大學/工程學院/機械與機電工程研究所/碩士(2012年)

https://doi.org/10.6827/NFU.2012.00137

摘要

本論文乃針對目前真空濺鍍(Sputtering)的現有控制架構, 而研製一套獨立行動資料收集與故障分析系統。當機台日益因客戶需求增加修改時，則原來的量產機變成客製機，現有控制理論無法得知機台穩定性及因製程下需要修改機台變化而延伸機台故障問題發生。

本論文用LabVIEW結合現有Hitch軟體(操作介面)及PLC(可程式邏輯控制器)，將真空濺鍍(Sputtering)系統所收集之資料作為設計程式架構，運用其資料處理進行分析及儲存,同時對故障問題分析與製程作修正。

本論文設計之方式，可提供機設人員設計改良與機台故障問題即時分析 。根據資料數據變化量進行運算及分析，進而獲得大量有效數據量,藉此快速的找到最佳及即時機台故障問題點，藉以提升機台穩定性。

關鍵字

LabVIEW ； 可程式邏輯控制器

並列摘要

This thesis is under the existing control architecture that designs of the Vacuum Sputtering to develop data collection and the fault analysis systems. When the machine is increased because the customers demand the production machine change into a custom machine . The control theory can’t know the stability of the machine and it needs to correct the changes of the machine in the process.

This thesis uses LabVIEW to combine with Hitch software (user interface) and PLC (Programmable Logic Controller) to design fault analysis system the program with its data , it can analyze and correct the questions of bug with real time.

This paper can offer designers to improve and analyze the machine fault problem and. According to the variation of the information a data computation to analyze, it can find quickly the best ways and machine fault problem by gaining a large number of valid data , and promote the stability of the machine.

並列關鍵字

PLC ； LabVIEW

參考文獻

[17]. 漢鐘真空科技股份有限公司，“ 真空幫浦使用手冊 ” 。

[3]. 吳敏文、曾錦清、蔡文發、鄭國川、張家豪、魏鴻文、翁政輝、柳克強、李安平、寇崇善， “ 電漿原理與應用之介紹 ” 物理雙月刊（廿八卷二期），2006年4月。

[4]. 張光輝，“ 大氣電漿處理聚苯乙烯及表面接枝聚合聚異丙基丙烯醯胺之研究“ 大同大學材料工程學系研究所碩士論文，中華民國九十八年。

[15]. 黃志宣，“ 以OPC為基礎電力品質監測系統” ，中原大學電機工程學系碩士論文，中華民國九十九年。

[19]. 沈莞翔 、黃昭明、郭松村 、黃啟貞，“ LabVIEW 軟體之介面設計與應用 ” ，中華民國第三十二屆電力工程研討會，PP.2216~2220，2011 年 12 月。