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採用自製之精密鑽石砂輪磨床研磨晶圓晶片之加工研究
A Study of An Own Precision Diamond Grinding Machine to Grind Wafers
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延伸閱讀
- 張明燦（2005）。矽晶圓超精密輪磨之工程分析〔碩士論文，國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2005.00314
- 陳伯瑄（2011）。鑽石砂輪磨削端銑刀具之加工性能研究〔碩士論文，國立虎尾科技大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6827/NFU.2011.00157
- 施勝禹（2016）。精微CNC鑽石研磨機開發應用於表面粗糙度量測之單晶鑽石探針製作研究〔碩士論文，國立臺灣師範大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6345/NTNU202204832
- 邱紹維（2008）。精密非金屬切削用之研磨CAM鑽頭程式開發〔碩士論文，國立虎尾科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0028-3107200815145400
- 蔡睿陞（2016）。The Research of Machining Parameter Optimization and Milling Surface Quality Prediction Technology〔碩士論文，國立中正大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0033-2110201614061403