摘要
隨著對產品品質的要求與日俱增，超音波在材料製程上所扮演的角色也因而益發重要。例如將超音波應用於金屬的焊接、塑膠的熔接、材料晶體的成長、基材內部參雜材料的擴散等等，均顯示超音波具有改善材質的雄厚潛力。本研究利用超音波提供0.2mW、5.3MHz之振動予矽基材，再以射頻磁控濺鍍（RF Magnetron Sputtering）的方式，於基材表面沉積類鑽碳（Diamond Like Carbon, DLC），以便增加類鑽碳膜的沉積速率。沉積完成之試片以雷射拉曼散射光譜分析儀（Laser Raman Scattering Spectrometer），場發射掃描式電子顯微鏡（Field Emission Scanning Electron Microscope, FESEM）及歐傑電子能譜儀（Auger Electron Spectrometer, AES）進行觀察與檢測。研究結果顯示經由超音波振動輔助所沉積的試片，其類鑽碳膜的緻密性及品質都略優於未使用超音波振動輔助沉積的試片。
延伸閱讀
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