- 會議論文
微米級定位平台振動主動控制之研究
A Study of Active Vibration Control on Micron Positioning Stage
摘要
本文主要是進行微米級定位平台之主動振動控制研究，控制的範圍為頻率10 Hz以下、振幅約15到20微米(peak value)的微小振動。被動式隔振系統可以有效的抑制環境振動中高頻部份，但系統自然頻率以下的低頻振動不但無法抑制且會放大振幅，近年來新型的被動式隔振器設計已有將低頻振動的放大情況改善，可是其微小的低頻振動仍對精密製程儀器有影響，所以本文藉由應用主動控制於定位平台機構以改善此類狀況。實驗是用音圈致動器模擬經被動式隔振後的低頻微小振動，使用壓電致動器配合定位平台機構利用主動控制觀念抑制振動，控制程式使用Lab VIEW圖控程式語言開發，以個人電腦搭配訊號擷取卡進行實驗研究，結果顯示可以將振動量抑制到原本的1/10。
並列摘要
Active control technology is applied on the vibration suppression of a micron positioning stage. The frequency range of vibration to control is lower than 10 Hz, and the amplitude is lower than 20 um。This control system uses the vibration signals measured by accelerometer to generate a control signal that drives piezoelectric actuator to produce anti-force to suppress vibration of the micron positioning stage. In experiment, we apply Lab VIEW software to develop the control algorithm, and operate it by PC with a DAQ card. The results show that 20 dB of vibration reduction can be achieved by active control。
延伸閱讀
- 葉哲愷、郭秦輔、蘇中源、蕭价伶、劉良潁（2021）。微型多軸振動感測器之開發。微系統暨奈米科技協會會刊，(44)，29-37。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=P20150305003-202101-202205170007-202205170007-29-37
- 戴炯峰（2000）。可適性微波壓控振盪器自動測試系統之研製〔博士論文，元智大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0009-0112200611313847
- 林秉德（2020）。應用於力量量測系統之微米級影像定位系統之設計與開發〔碩士論文，國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU202002073
- 王士銓（2013）。Detection and Suppression of Mechanical Vibration in Servo Control System〔碩士論文，國立臺北科技大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6841/NTUT.2013.00150
- 張耿寧（2011）。Development and Performance Study of a Magnetic Aerostatic Vibration Isolation Platform〔碩士論文，國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2011.10230