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半導體無塵室能源節約之可行方法
The Plane of Energy Comservation for Semiconductor Manufacturing Clean Room
摘要
半導體無塵室由於室內機器發熱量大，外氣流導入量多，空氣輸送動力大及幾乎全年24小時的長時間運轉等理由而成為能源消耗極密集的“設備”本文將針對半導體無塵室之能源消耗及其可行之能源節約方法作一番探討。
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李清諒（2010）。建置半導體潔淨室線上節能評估系統〔碩士論文，亞洲大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0118-1511201215465411
延伸閱讀
- 李清諒（2010）。建置半導體潔淨室線上節能評估系統〔碩士論文，亞洲大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0118-1511201215465411
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- 黃佳松（2006）。半導體廠潔淨室氣流模擬分析與省能運轉策略〔碩士論文，國立臺北科技大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6841/NTUT.2006.00411
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