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電子廠雙冰水溫度系統節能分析
Energy Study for Electronic Factory Dual Chilled Water System
摘要
電子廠之冰水供應系統通常採單冰水溫度供應，如將潔淨室循環空氣冷卻及製程設備冷却系統改採10℃高溫冰水供應，以某座8時晶圓廠耗電分析，每年可節省電費約新台幣670萬元，節省比率爲8.7%左右；如將外氣處理空調箱之第一道冷却盤管亦改採10℃高溫冰水供應，每年可節省電費約新台幣900萬元，節省比爲11.6%左右。
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延伸閱讀
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