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回風室安裝薄板對無塵室內流場均勻度之影響
The Influence of the Flow Field Uniformity by Installing a Thin Plate at Return Air Chamber in Cleanroom
摘要
在國內許多高科技的工業迅速發展，對於無塵室的環境控制要求越趨嚴格。然而環境控制色含無塵室內氣流之分佈、進回風的壓力差、濕度與溫度等控制。本篇研究著重於無塵室的氣流場與壓力場分佈，利用GED套裝軟體PHOENGES來分析計算，採用垂真層流型FFU(Fan-Filter Unit)式無塵室中，分別在四風室安裝長0.3m、0.5m、0.7m、0.9m、1.1m的薄板在11.5m-12m各位置之速度場與壓力場，從這些不同的分析結果發現，無塵室在11.8m位置處安裝0.7m薄板之氣流分佈可有最好的均勻度。可逹至97.3%，有利於環境的控制，以減少微粒子對無塵室的污染。
被引用紀錄
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延伸閱讀
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