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無塵室潔淨度之測試程序與確效作業探討(1)
Tests of Cleanness and Acceptance Procedures for Cleanrooms (1)
摘要
無塵室所提供之無塵環境條件現代製造産業而言是極爲必須的，若缺少此清淨條件之産品則可能遭受污染或造成機器故障。現代化産業也由於新産品發展之需求而對無塵室技術要求日益殷切，而無塵室在設計建造完成後需經完整測試以確得其能達到當初設計之規範，並且即使在正式運轉作業時也能持續達到要求等級標準，也因此，爲了確認無塵室能滿足原告設計要求之汚染等級標準，測試程序及確效作業便顯得格外重要且關鍵。然而，測試及確效作業不僅須遵守無塵室相關法規設計標準，且在不同階段狀態下（即完工時，機器安裝後及正式運轉時）皆須能持續也符合無塵室等級，此外，其檢驗測試項目繁多，包括微塵粒子，濾網洩漏、壓差、氣流、溫濕度、噪音、照度及振動等測試，其中尤以清淨等級測試最為重要。而清淨度之測試又須在某些預先測試完成下才可進行，且更需輔以各式各樣精密之量測儀器才能獲致最佳之量測數據資料，因此在測試及確效作業上有相當程度之複雜性，而為確保無塵室能依法規標準正確地操作，建立標準測試程序實乃刻不容緩之要務。
被引用紀錄
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延伸閱讀
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