- 期刊
無塵室潔淨度之測試程序與確效作業探討(2)
Tests of Cleanness and Acceptance Procedures for Cleanrooms (2)
摘要
無塵室所提供之無塵環境條件對現代化制造産業而言是極為必須的，若缺少此清淨條件之産品則可能遭受污染或造成機器故障。現代化産業也由於新産品之需求而對無塵室技術要求日益殷切，而無塵室在設計建造完成後需經完整測試以確保其能達到當初設計之規範，並且即使在正式運轉作業時敢能持續達到要求等級標准，也因此，為了確認無塵室能滿足原先設計要求之污染等級標准，測試程序及確效作業便顯得格外重要且關鍵。然而，測試及確效作業不僅須遵守無塵室相關法規設計標准，且在不同階段狀態下（即完工時，機器安裝後及正式運轉時）皆須能持續地符合無塵室等級規格；此外，其檢驗測試項目繁多，包括微塵粒子、濾網洩漏、壓差、氣流、溫溼度、噪音、照度及振動等測試，其中尤以清淨度等級之測試最為重要。而清淨度之測試又須在某些預先測試完成下才可進行，且更需輔以各式各樣精密之量測儀器才以獲致最佳之量測數據資料，因此在測試及確效作業上有相當程度之複雜性，而為確保無塵室能依法規標準正確地操作，建立標準正確地操作，建立標準測試程序實乃刻不容緩之要務。
延伸閱讀
- 王輔仁、李書哲、張良鉦、李國正（2005）。無塵室潔淨度之測試程序與確效作業探討(1)。冷凍與空調，(32)，83-87。https://doi.org/10.7087/JRACT.200504.0083
- Wang, F. J., Luo, Y. H., Liu, Z. R., Zheng, Y. R., & Lai, C. M. (2009). 微機電實驗室無塵室系統之性能改善分析. 中國機械工程學刊, 30(2), 135-141. https://doi.org/10.29979/JCSME.200904.0007
- 黃士滔、鍾逸芬（2014）。無塵室管理品質提升之個案探討。商業現代化學刊，7(4)，275-294。https://doi.org/10.6132/JCM.2014.7.4.13
- 楊廷瑋（2008）。室內空氣清淨機實場去除效率評估及實場模式建立〔碩士論文，國立臺北科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0006-2407200823053000
- 蔡俊宏（1999）。Flow Characteristics and Contamination Control in the Cleanroom。中國冷凍空調雜誌，(44)，78-88。https://doi.org/10.7088/CJRACT.199906.0078