摘要
本文提出一雷射反射光彩像結合標準探針式粗糙度量測方法，以已知波長之He-Ne雷射光爲光源，預估其反射影像線寬與粗糙度(R(下標 a))之關系。量測系統建立在材料、入射角、波長及檢測距離等參數設定下，可獲得一簡單量測執行模式。此執行模式經由多次實驗值顯示均可供生產線上之相同材料粗度檢驗，其R(下標 a)值量測不準確度在0.034μm以內。
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延伸閱讀
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