延伸閱讀
- Chen, I. T. (2007). 原子層沉積技術於有機薄膜電晶體上應用之研究 [master's thesis, National Taiwan University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6342/NTU.2007.02161
- 章詠湟、陳智、彭智龍（2007）。原子層沉積系統原理及其應用。科儀新知，(159)，33-43。https://doi.org/10.29662/IT.200708.0004
- 蕭健男、柯志忠、游智傑、林健寶、劉伯亨、陳永祥（2013）。原子層沉積系統設計與製作實務。真空科技，26(1)，6-12。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=1017091x-201303-201304250007-201304250007-6-12
- 柯志忠（2007）。原子層沉積技術與應用。儀科中心簡訊，(79)，10-11。https://doi.org/10.29661/ITRCN.200702.0007
- 陳品光（2018）。原子層沉積技術簡介。國家奈米元件實驗室奈米通訊，25(3)，29-30。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=1029502x-201809-201810220012-201810220012-29-30