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期刊
濕蝕刻製程介紹暨機台原理簡介
龍柏華
《光連:光電產業與技術情報》
48期
(2003/11)
Pp. 37-41
https://doi.org/10.29664/Optolink.200311.0008
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被引用紀錄
李芳佳(2012)。
政府對高科技產業發展之戰略研究 – 以台灣TFT-LCD產業為例
〔碩士論文,淡江大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6846/TKU.2012.00911
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DOI
廖仁誠(2009)。
以反應離子蝕刻製作鑽石微結構之研究
〔碩士論文,淡江大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6846/TKU.2009.00994
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林以穠(2009)。
氦氣及氙氣之添加對電感偶合式六氟化硫電漿性質影響之研究
〔碩士論文,中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu200900876
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蘇政諺(2016)。
新興污染物鎵與銦在不同土壤中之動態及其對水稻幼苗生長之影響
〔碩士論文,國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU201601120
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簡柏勛(2015)。
新興污染物鎵和銦對水耕栽培水稻生長之影響
〔碩士論文,國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2015.02763
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延伸閱讀
李其源(2004)。
濕蝕刻晶片厚度即時監控之新穎方法
〔博士論文,國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2004.01399
徐上恩(2011)。
應用濕蝕刻搭配網印技術製作矽奈米柱光伏元件之研究
〔碩士論文,國立虎尾科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0028-0607201115144400
蔡健忠、黃奕澄、施湘農、林宗煌、陳紀佑(2007)。
濕式蝕刻釋放以面型微加工共用製程製造之微光學元件的技術探討
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金屬層蝕刻機(Lam research TCP9600)蝕刻製程參數介紹
。
國家奈米元件實驗室newsletter
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彭顯凱(2011)。
濕蝕刻製程之無彩紋控制
〔碩士論文,國立交通大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6842/NCTU.2011.01139
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