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點石成金－半導體製程原理
Turning Stones into Gold: The Principles behind Semiconductor Manufacturing
摘要
半導體積體電路元件已成為我們生活中不可或缺的一員。其製程主要包含：(1)薄膜沉積，(2)微影，(3)蝕刻，(4)摻雜，(5)氧化等。本文的主要目的在探討並歸納積體電路的製程原理及其製造技術。
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無資料延伸閱讀
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