奈米級粉體超高音速成長(Pb, Ca)TiO3厚膜之研究

使用機械珠磨方式進行top down粉體奈米級化之製程，可在1mm(上標 φ)珠磨石及無水酒精當分散介質條件下珠磨7小時獲得0.2件μm之微粉體。以D-134商用分散劑分散此微粉體，進行液態氮冷凍乾燥，在0.4~0.5 torr之冷凍乾燥條件獲得粉體流動性約28 sec/g。使用此分散粉體進行超高音速鍍膜，在室溫下獲得3μm膜厚之Pb0.77Ca0.25TiO3膜。

關鍵字

超高音速鍍膜；珠磨；冷凍乾燥； Pb0.77Ca0.25TiO3

並列摘要

Pb0.77Ca0.25TiO3 sub-micron (0.2μm) crystal powder was obtained from the attritting process with 1mm(superscript φ) yttrium-zirconia ball and absolute ethanol dispersant for 7hr milling. The obtained powder was further dispersed in D-134 commercial dispersant, then freeze dried at 0.4~0.5 torr to achieve suitable flow property 28 sec/g. This freeze dried powder was used in supersonic jet process to complete the deposition film thickness of 3μm Pb0.77Ca0.25TiO3 without heating the substrate.

並列關鍵字

Supersonic jet deposition ； Attritor ； Freeze drying ； Pb0.77Ca0.25TiO3

被引用紀錄

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