摘要
由於電熱式微致動器在高輸出力的特性下，相對的也降低了輸出位移量，當微系統所需的致動力不大，但對輸出位移量又有某一程度要求時，此種電熱式微致動器便無法符合要求。本文設計一可變輸出力及位移量的微致動器，它是利用一個可調支點位置的微槓桿機構，一端以電熱式V型組合懸樑微致動器作爲輸入，此種電熱式V型組合致動器具有高輸出力及低位移量的特性，利用槓桿原理和支點位置的調整，在槓桿另一端即可達成變輸出力和變位移量的結果。 在分析分面是以有限元素分析軟體ANSYS分析電熱式V型組合懸樑微致動器，並得到微致動器在不同設計參數下的輸出結果。在實作方面是以SU-8厚膜光阻製程與微電鑄製程分別製作微致動器與微槓桿機構，並量測其在不同電壓負載下的輸出結果。
延伸閱讀
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