提昇TFT元件良率之新TFT-LCD製程

Novel Process of TFT-LCD for Increasing the Yield Rate of TFT Device

吳英明(Ying-Ming Wu)

指導教授 ： 蕭瑛東

淡江大學/工學院/電機工程學系碩士班/碩士(2005年)

https://doi.org/10.6846/TKU.2005.00837

摘要

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關鍵字

薄膜電晶體 ； 液晶顯示器 ； 靜電破壞 ； 製程 ； 良率

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並列關鍵字

TFT ； LCD ； Array ； ESD ； Process ； Yield

參考文獻

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參考文獻

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