以表面聲波陣列式震盪電路為基礎之氣體感測系統

Gas sensing system based on surface acoustic wave array

趙哲新(Je-Shin Chao)

指導教授 ： 饒達仁

國立清華大學/原子科學院/工程與系統科學系/碩士(2009年)

摘要

本研究致力於開發陣列式表面聲波量測系統，晶片材料的選擇上，本文選用高K2值之128º YX-LiNbO3 壓電基板，於其上製作指叉換能器（Interdigital Transducer, IDT），並將多種高分子聚合物塗佈修飾於延遲線（delay line）感測區之上。將做好之晶片配合製作出之震盪電路，可得感測晶片之操作頻率約為98.5MHz，在此主動式之量測機制下，再結合感測環境系統以量測特定溶劑之揮發性氣體。
本研究朝向將感測器陣列化和微小化的方向，共分為三個步驟，第一步驟為單顆感測器之量測，此階段確定了單顆表面聲波感測器具有重覆性和可靠度；第二步驟為陣列化四頸瓶量測系統，此階段已實現非連續式陣列化表面聲波電路，透過在簡單的1L四頸瓶系統以PNVP、P4VP、PVAc、PSMA、PS、PSu、PEG七種膜對甲醇、乙醇、氨、三甲基胺、丙酮之量測，確定了陣列化的可行性，且有不錯之表現；第三步驟為陣列式微小化反應盒量測系統，此步驟進而將反應腔體縮小，以更穩定之氣體產生器提供氣體，且選擇特定標的──氨氣做量測，從PNVP、P4VP、PSMA、PCL、PVAc、PS六種膜對不同濃度之氨氣之量測，以長條圖、雷達圖做分析，可得知每種膜在不同測試條件下之反應特性，最後利用線性趨勢線作分析，可加以模擬真實情況下之反應結果。

關鍵字

表面聲波元件 ； 陣列式震盪電路 ； 氨氣感測器 ； 氣體感測器

參考文獻

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