PN接面之矽微環形電光調變器製作

Fabrication of PN junction micro-ring electro-optic modulator

黃棋林(Chi-Lin Huang)

指導教授 ： 趙喣

國立清華大學/電機資訊學院/光電工程研究所/碩士(2011年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2011.00296

摘要

本論文將光電元件整合在矽基板上，在SOI基板上製作PN接面之矽微環形共振腔，利用偏壓使PN接面之矽微環形共振腔的載子濃度改變，利用自由載子色散效應達到調變光訊號的效果，並且將元件架構上將橫截面縮小，以提升其操作速度以及減少消耗功率。本論文中針對佈植模擬分析、水平PN接面結構製程、垂直PN接面結構製程，詳細的敘述其製程流程、電性量測，並對製程參數的選擇做詳細說明。元件製作使用國家奈米實驗室CMOS標準製程。根據電性量測結果推得元件操作速度可達20GHZ(理論值)，在無阻抗匹配情況下，50%以上的功率可輸入至元件。

關鍵字

PN接面 ； 環形共振腔 ； 電光調變器

參考文獻

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