兩階段不同順序氫與氦離子佈植於矽（100）晶圓引發缺陷之動態演化與研究

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吳政衛(Chen-Wei Wu)

指導教授 ： 梁正宏

國立清華大學/原子科學院/工程與系統科學系/碩士(2008年)

摘要

在本論文所探討的離子劈裂技術中，係旨於研究以兩階段不同順序的氫與氦離子佈植取代單階段的氫離子佈植，所造成矽（100）試片表面的發泡與發泡破裂現象以及試片內部缺陷的演化情形，並與只有單一階段氫離子佈植的結果進行交互比較。所使用的特性量測分析儀器包括：動態光學顯微分析儀器、拉曼光譜儀、二次離子質譜儀、以及穿透式電子顯微鏡。結果顯示：不同順序的兩階段離子佈植造成不一樣的缺陷分佈情形，也使得在使用特性量測儀器所觀察到的現象大不相同。加入氦離子佈植的試片在經退火後，其試片內部出現有明顯的長條裂縫，此一裂縫的生成是為絕緣體上矽薄膜能否成功轉移的重要關鍵，是以添加氦離子的兩階段離子佈植可以較單階段氫離子佈值提高了製作絕緣體上矽的成功機率。本論文所使用的兩階段氫與氦離子佈值試片經由適當的晶圓接合以及退火製程皆可得到絕緣體上矽結構，其中，氦先佈值（即 He＋H）者其薄膜轉移的面積高於氦後佈值（即 H＋He）者，絕緣體上矽薄膜的表面粗糙度亦是前者優於後者。總結而言，前者為較佳的製程。

關鍵字

氫離子與氦離子 ； 離子劈裂技術 ； 離子佈植 ； 絕緣體上矽 ； 表面發泡 ； 發泡破裂

並列摘要

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並列關鍵字

Hydrogen and heliun ions ； Ion cut ； Ion implantation ； Silicon on insulator ； Surface blistering ； exfoliation

參考文獻

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