以微模轉印製程製作高分子脊樑式波導光柵濾波器

Using Micro-Mold Transfer Printing Process to Fabricate Polymer Ridge Waveguide Grating Filter

吳穎聰(Ying-Cong Wu)

指導教授 ： 何智廷

國立虎尾科技大學/工程學院/機械設計工程研究所/碩士(2013年)

摘要

本研究是結合黃光微影製程技術及軟式翻模將光柵製作在脊樑式波導上及兩側壁，因以往的光柵長度較長，製作在脊樑式波導上能使光柵長度縮短得到較佳的濾波效果，也能使元件微小化。
製程中將以簡單複製製程將布拉格光柵製作在高分子脊樑式波導上及兩側壁上，並以此高分子光柵波導元件配合微模轉印技術之微接觸成形技術來製作軟式光柵波導元件模仁，接著利用前述之軟式光柵元件模仁，以軟式印刷技術之複製成形技術，配合OG高分子材料製作出高分子脊樑式波導光柵濾波器。

關鍵字

黃光微影製程 ； 光柵 ； 微模轉印技術 ； 脊樑式波導

並列摘要

This study is a combination of the photolithography process technology and micro-mold transfer to fabrication a three face grating of polymer Bragg grating filters.
A simple replication process is used to produce Bragg grating on the three side of the polymer ridge waveguide. A micro-contact method with the micro-mold transfer technology is also used to produce a soft grating waveguide components mold , following by the use of the aforementioned soft mold method. A OG polymer ridge waveguide Bragg grating filters is fabricated.

並列關鍵字

Photolithography process ； grating ； micro-mold transfer ； Ridge waveguide

參考文獻

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