石英音叉鎢探針之設計與特性研究應用於表面形貌量測

Design and Characteristic Study of Quartz Tuning Fork Based Tungsten Probe for Surface Profiling

彭伯倫(Bo-Lun Peng)

指導教授 ： 洪紹剛

國立交通大學/工學院/機械工程系所/碩士(2012年)

https://doi.org/10.6842/NCTU.2012.00430

摘要

本論文研究一市售石英音叉（Quartz Tuning Fork, QTF）結合鎢探針（Tungsten Probe），構成了一個表面輪廓掃描感測器。該感測器，採用了與TM-AFM（Tapping Mode Atomic Force Microscope）相同的工作原理。接著將介紹此感測器的組成及特性，以證明此感測器的有效性，並可以應用於表面輪廓儀（Surface Profilometer）。

關鍵字

石英音叉 ； 鎢探針 ； 表面輪廓儀

並列摘要

This paper presents a commercial quartz tuning fork (QTF) based homemade tungsten probe. The proposed QTF based tungsten probe can be used as a sensor in a surface profilometer, which has the same principle as a tapping-mode atomic force microscope. This study also discusses the characteristics of the proposed sensor and demonstrates its effectiveness.

並列關鍵字

Quartz tuning fork ； Tungsten probe ； Profilometer

參考文獻

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