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  • 期刊

微電子無塵室中氣流及質點傳(車兪)之實驗與數值成果(下)

Experimental and Numerical Results for Airflow and Particle Transport in a Microelectronics Clean Room

被引用紀錄


林志威(2012)。百葉窗靜電集塵器之開發與電暈放電產生奈米微粒現象之探討〔博士論文,國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2012.02039

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