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期刊
微電子無塵室中氣流及質點傳(車兪)之實驗與數值成果(下)
Experimental and Numerical Results for Airflow and Particle Transport in a Microelectronics Clean Room
D.Y.H. Pui
;
T.H. Kuehn
;
J.P Gratzok
;
劉代勝
;
胡石政
《中國冷凍空調雜誌》
7期
(1993/04)
Pp. 109-114
https://doi.org/10.7088/CJRACT.199304.0109
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被引用紀錄
林志威(2012)。
百葉窗靜電集塵器之開發與電暈放電產生奈米微粒現象之探討
〔博士論文,國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2012.02039
Airiti Library
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DOI
延伸閱讀
胡石政、劉代勝、J. P Gratzok(1993)。
微電子無塵室中氣流及質點傳(車兪)之實驗與數值成果(上)
。
中國冷凍空調雜誌
,
(6),99-104。https://doi.org/10.7088/CJRACT.199302.0099
鄭憲隆(2006)。
微波電漿化學氣相沈積系統之遠端監控系統規劃設計
〔碩士論文,元智大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6838/YZU.2006.00241
鄭哲豪(2009)。
微流道應用於氣相層析感測之研究
〔碩士論文,中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu200901590
黃祐杰(2016)。
電流式微小氬氣電漿-氣相層析偵測器
〔碩士論文,國立臺灣師範大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6345/NTNU202203592
吳冠緯(2007)。
In situ temperature and humidity diagnosis within micro fuel cell using flexible micro sensors
〔碩士論文,元智大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6838/YZU.2007.00221
國際替代計量
微電子無塵室中氣流及質點傳(車兪)之實驗與數值成果(下)
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