摘要
彩色濾光片(Color filter, CF)製程對Indium Tin oxide (ITO)玻璃上之潔淨度要求是非常之高，玻璃清潔主要使用低污染、高時效之Ultraviolet (UV)清洗機進行。UV清洗機係利用紫外光子對有機物質所起的光敏氧化作用以達到清洗黏附在玻璃表面上的有機化合物。清洗過程中因光敏氧化作用產生具刺激氣味之臭氧毒性氣體，並隨著UV清洗機反應腔出片過程逸散至潔淨室，造成勞工健康危害。本實驗主要目的在研究彩色濾光片廠UV清洗機作業環境臭氧逸散濃度分佈情形，並藉由煙霧可視化，調查臭氧逸散煙流走向，評估對員工之可能危害，進而尋求改善方法及探討控制效率。
延伸閱讀
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