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  • 學位論文

粒子操控之微混合器晶片開發

Development of Particle Manipulating Micro-Mixer Chip

指導教授 : 沈弘俊

摘要


本研究利用微機電製程方式成功製作出微粒子操控微混合晶片,整個流程僅需要兩道光罩(微電極陣列晶片與微流道母模各一道光罩)即可完成晶片製作。本粒子操控術操控機制是利用介電泳原理,操控微粒子移動到空間中不同位置。本實驗採用粒徑1μm的polymer粒子,在溶液導電度為0.10mS/㎝的條件下進行操控,實驗顯示在操控頻率為100KHz時會產生粒子渦漩式對稱旋轉移動現象,而在10MHz的操控頻率下會有旅波介電泳現象發生。將晶片結合了Y型流道,可以製作具有混合效果之微混合晶片,此晶片能夠成功攪動流體而達到混合效果,而混合效果與電壓大小有關,並可利用micro-PIV技術來分析驗證流場狀況。吾人首創將介電泳理論運用在混合兩種流體之研究上,製作出屬於介電泳領域之混合型晶片,此功能晶片可增加流場中的擾動,提高粒子或流體混合的機率,由於介電泳機制可在低電壓情況下直接操控細胞,所以粒子操控之微混合晶片之開發對於未來於生物醫學上的應用,將有極大的可能性。

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dielectrophoresis micro-mixer micro-PIV

參考文獻


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延伸閱讀