薄膜電晶體液晶顯示器產業揮發性有機物空氣污染防制設備無燄旋轉蓄熱式燃燒爐差異效能研究

TFT-LCD Industry Prevention Of VOCs Air Pollution Using Control Equipment Of Flameless RRTO Performance Comparison Analysis Research

陳清泉(Ching-Chuan Chen)

指導教授 ： 羅煌木

朝陽科技大學/理工學院/環境工程與管理系/碩士(2013年)

摘要

本論文探討薄膜電晶體液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD)產業五代廠實廠所設置蜂巢式沸石轉輪“無焰旋轉蓄熱式燃燒爐(RRTO)”處理設備，評估其吸附濃縮焚化系統揮發性有機物(Volatile Organic Compounds, VOCs)之效能。無焰旋轉蓄熱式燃燒爐(Rotary Regenerative Thermal Oxidizer)之爐溫設定860℃~920℃，蜂巢式沸石轉輪轉速設定2.5轉/小時，系統風量1,380 3/min，脫附風量91 m3/min，脫附溫度200℃，轉輪濃縮比為1:15。VOCs 以氣體層析-火焰離子偵測器(GC-FID)加以分析，檢測項目有乙酸丁酯 (nBA)，丙二醇單甲基醚(PGME)，丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)，與異丙醇(IPA)。乙酸丁酯 (nBA)，丙二醇單甲基醚(PGME)，丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)，與異丙醇(IPA)，其去除率分別可達99，84，94 與99%，顯示無焰旋轉式蓄熱式燃燒爐其可有效提昇揮發性有機物之去除。無焰式RRTO改良了原來RRTO持續母火運轉缺點，具備更節能的特性並可提昇揮發性有機物之處理效率。

關鍵字

薄膜電晶體液晶顯示器 ； 揮發性有機物 ； 氣體層析火焰離子偵測器 ； 旋轉蓄熱式燃燒爐

並列摘要

This paper aims at investigating the removal efficiency of volatile organic compounds (VOCs) produced from Thin Film Transistor Liquid Crystal Display (TFT-LCD) by using Flameless Rotary Regenerative Thermal Oxidizer (RRTO). Temperature in the furnace of RRTO was maintained at 860℃~920℃. Rotary speed of RRTO was operated in 2.5 revolution/hr. Inlet gas was 1,380 m3/min and adsorption gas was 91 m3/min. Rotary concentrated ratio was 1/15. Adsorption temperature was set at 200℃. VOCs such as NBA, PGME, PGMEA and IPA were analyzed with GC-FID. Removal efficiency of NBA, PGME, PGMEA, and IPA were found to be 99, 84, 94, and 99% respectively. Results implied that flameless RRTO could improve the removal of VOCs efficiently. The flameless RRTO improved the original RRTO fire operation disadvantage with more energy-saving features and the increase of treatment efficiency.

並列關鍵字

GC-FID ； TFT-LCD ； VOCs ； RRTO

參考文獻

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