晶圓廠氣化供應系統風險評估與異常事故分析研究

The risk assessment & abnormal event analysis of facility gas & chemical supply system in wafer process

張庭瑞(Ting-Jui Chang)

指導教授 ： 黃振球

元智大學/工程學院/化學工程與材料科學學系/碩士(2009年)

https://doi.org/10.6838/YZU.2009.00193

摘要

本研究分析現役晶圓廠廠務氣體與化學品供應系統所發生之異常事故。首先利用FMEA方法參照該廠特性訂定風險評估邊界條件並蒐集異常事故紀錄進行資料分類，探討氣化供應系統歷年異常事故發生之頻率及原因，其次再依序以FMEA方法鑑別各供應系統發生異常之原因與風險高低，最終彙整分析結果並提出各項改善建議與措施，期望能擴大應用於廠務各項供應系統作為降低系統異常率之改善依據與實際運轉上故障排除之方向。

關鍵字

晶圓廠 ； 廠務氣化系統 ； FMEA風險評估 ； 異常事故

並列摘要

The central (gas/chemical) supply systems of wafer factory were studied by analysis abnormal events. This paper refers to this wafer factory characteristic using the FMEA method to set up the boundary condition of risk assessment. This research emphasizes on exploring and analyzing the frequency and causes by used FMEA risk assessment of the abnormal events. Follow the final conclusion of the study will can to prevent and improve for reduction of abnormal rate and reference of troubleshooting.

並列關鍵字

wafer factory ； gas and chemical supply system ； FMEA risk assessment ； abnormal event

參考文獻

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