本實驗以化學溶液溶凝膠法(sol-gel)在白金基板上成功鍍製平整緻密的鋯酸鉛鋇,(Pb0.6,Ba0.4)ZrO3 (PBZ)薄膜,並以鐵(Iron, Fe)、鈮(Niobium, Nb)、及鈦(Titanium, Ti)等元素作1%、5%、10%的摻雜。實驗中所選用的摻雜元素均為針對鋯位置的取代,除了摻雜元素種類及濃度的變化外,亦對熱處理溫度對薄膜性質的影響加以探討。 鐵元素的摻雜大幅改變了PBZ的微觀形貌,介電常數與調變值都得到大幅的改善,而因價數差異造成缺陷平衡的改變,使漏電流行為發生了改變;鈮元素的摻雜有效降低了散逸因子,同時調變值的提高使優異值(Figure of merit)非常優秀,漏電流對電場的行為亦非常穩定;而鈦元素雖然在鈦酸鉛鋇(PZT)中被認為是造成疲勞的主要原因,但對於PBZ的介電常數與調變值有很大的幫助,即使損失提高,但其優異值仍較摻雜前薄膜出色。