石英音叉振盪器研製

Study on the Fabrication of Tuning Fork Quartz Resonator

翁璟豪(Jing-Hao Weng)

指導教授 ： 張家歐

共同指導教授 ： 張簡文添

國立臺灣大學/工學院/應用力學研究所/碩士(2011年)

https://doi.org/10.6342/NTU.2011.10270

摘要

本文所探討的是以微機電製程在 低溫石英晶圓(α-Quartz)製作石英振盪器，並設計出第一彎曲模態之自然頻率為35kHz之石英振盪器與製程規劃。利用雙面蝕刻實驗測試石英振盪器之雙樑在蝕刻後的斷面圖形，取得其最佳蝕刻斷面以及蝕刻時間，並且計算出蝕刻速率。使用實驗所取得之蝕刻速率與蝕刻時間，設計石英振盪器的相關尺寸，與設計石英振盪器製程上所需光罩尺寸，接著利用微機電製程技術完成石英振盪器本體。

關鍵字

低溫石英 ； 蝕刻速率 ； 石英振盪器

並列摘要

The purpose of this thesis is to study α-quartz by using MEMS process technology to finish the quartz oscillator under the nature frequency of the first flexible mode at 35kHz. We can get the best etch times and etch cross-section by the two-face etch experiment of quartz oscillator. Finally using the parameters of etch rates and etch times from the experiments we can design the process or size of quartz oscillator and the size of mask. And then use MEMS process technology to finish the quartz oscillator.

並列關鍵字

α-quartz ； etch rates ； quartz oscillator

參考文獻

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